将污染气体引入低温催化氧化设备，污染气体中的污染物颗粒先在预处理单元进行吸收沉降；经预处理后的污染气体进入微波协同单元，污染气体直接吸收紫外辐射能量发生断键，水蒸气吸收紫外辐射能量产生自由基氧化污染气体；经微波协同单元进入活性氧发生单元，氧自由基的强氧化能力对污染气体分子有一定氧化分解作用；经活性氧发生单元后进入常温催化单元，此单元装有自主研发污染气体分解催化剂，在催化剂活性位点产生活性物种活性氧，污染气体分子通过催化剂被吸附，在电磁场与氧自由基的协同催化下被彻底分解CO2和H2O；经多单元净化处理后的干净气体由排风机引出。